“NanoPure”是Gas Delivery Total Solution的品牌,屬于新萊集團(tuán),于1991年在臺(tái)灣成立,并擴(kuò)大了在中國江蘇省昆山的生產(chǎn)設(shè)施。 為半導(dǎo)體、FPD、LED和光伏行業(yè)提供管道/管道和配件材料服務(wù),“NanoPure”的核心理念是為氣體輸送應(yīng)用提供高品質(zhì)的“衛(wèi)生材料”。 氣體的供氣和輸送始終是半導(dǎo)體加工研究的主題,氣源的純度是確保加工準(zhǔn)確性至關(guān)重要的因素。 在將氣體轉(zhuǎn)移到加工工具中的同時(shí),保持純度受到工藝工程師的高度監(jiān)控。